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应用案例
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发布时间:2024-12-16编辑:国产MOS管厂家浏览:0次
利用OBIRCH技术对失效点进行精确定位,确定失效区域主要集中在栅极部位。随后通过化学方法逐层去除表面金属层和介质层,观察到内部的硅衬底已出现熔融现象,且有明显裂纹。
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